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低溫等離子廢氣處理設備是電子、化學、催化等綜合作用下的電化學過程，是一全新的技術創新領域。是依靠等離子體在瞬間產生的強大電場能量電離、裂解有害氣體的化學鍵能，從而破壞廢氣分子結構，達到凈化目的。