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熱式氣體質(zhì)量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。

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氣體質(zhì)量流量計可測量空氣/氧氣/氮氣/氬氣/二氧化碳氣/氫氣/天然氣等清潔氣體的流量，主要用于半導(dǎo)體、化工、冶金、空氣分離、機械制造等生產(chǎn)線上氣體消耗的內(nèi)部結(jié)算；化工行業(yè)的生產(chǎn)過程用氣的控制測量